凈化車(chē)間10萬(wàn)級
具有一定空氣清潔度要求的房間稱(chēng)為潔凈室，集成電路生產(chǎn)過(guò)程的大部分環(huán)境都需要空氣凈化處理。根據工藝流程清潔、恒溫等不同要求，線(xiàn)性、數字電路車(chē)間的清潔等級設計要求為10萬(wàn)級，即粒度為0.5μm污垢含量不得超過(guò)3500/L。清潔車(chē)間確保環(huán)境凈化，雖然主要依靠空氣凈化和空調手段，但如果室內裝修處理不當，也會(huì )產(chǎn)生嚴重影響；如室內墻、天花板材料脫落、氧化灰、細節結構灰、天花板、門(mén)窗、管道間隙灰等，將直接影響凈化效果。因此，對于清潔車(chē)間，建筑室內裝飾技術(shù)比任何其他類(lèi)型的生產(chǎn)房間都更重要。
凈化車(chē)間10萬(wàn)級
結構造型與平面組合主體工程設計采用混合結構形式，基本柱網(wǎng)6 2.1 6(m)，兩側外加1.5m寬外廊。每層為埋設公共設施管道增加60層。mm厚石混凝土澆筑層；沿中間走道兩側和走廊內側的四個(gè)縱墻設計為370mm墻體不僅滿(mǎn)足了敷設各種隱蔽管道和電氣配件的需要，而且避免了室內凸柱堆放，確保了內墻的平整度，非常有利于確保車(chē)間的凈化。10萬(wàn)級清潔區按其凈化要求設計為無(wú)窗封閉車(chē)間，有效隔離外部環(huán)境，避免外部污染。但工人長(cháng)期從事與外部環(huán)境隔離的無(wú)窗車(chē)間的生產(chǎn)勞動(dòng)，容易產(chǎn)生抑郁和疲勞。
凈化車(chē)間10萬(wàn)級
為改善工人的生產(chǎn)環(huán)境，設計增加了1.5m寬敞的封閉式走廊不僅改善了室內照明，而且增加了間接的自然照明，使工人在視覺(jué)上與外部環(huán)境相連。此外，封閉式走廊直接連接到清潔生產(chǎn)區的走道，并有安全出口。在緊急情況下，工作人員可以盡快疏散?？諝鈨舾邌?wèn)題集成電路生產(chǎn)車(chē)間的一般設備和設備高度主要為1.5m以下設備不超過(guò)2個(gè)m，這是降低高度的一個(gè)有利因素；但建筑凈高不能無(wú)限降低，因為凈高太低容易使工作人員產(chǎn)生沉悶的情緒。一般來(lái)說(shuō)，舒適的建筑視覺(jué)感應滿(mǎn)足兩個(gè)條件：凈高不低于人體高度的1.5倍，不小于房間深度的1/3。根據相關(guān)資料，我國成年男女平均身高分別為1/1.67m和1.56m，二者平均為1.61m。潔凈車(chē)間女工總數約占75%，實(shí)際平均身高較低。如果按平均身高的1.考慮5倍，室內凈高應為5倍≥2.4m;車(chē)間深度設計為6m，凈高應按其1/3考慮≥2m。綜合以上因素，確定室內凈高取2.4m。
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