新能源清潔車(chē)間

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：13305346159一、詳細介紹

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461591.光伏新能源硅晶片簡(jiǎn)介

光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一個(gè)像鏡子一樣明亮的圓片，是生產(chǎn)半導體集成電路芯片的原材料。目前，微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術(shù)已進(jìn)入0.18微米以下的時(shí)代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數的要求。因此，光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂(lè )觀(guān)。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461591.1 光伏新能源硅晶片的生產(chǎn)工藝

從大的方面來(lái)講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長(cháng)-單晶棒切割檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢測-蝕刻(化學(xué)蝕刻)LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋-洗滌-質(zhì)量檢驗-清潔包裝 從單晶棒生長(cháng)到外徑磨削到硅單晶棒生產(chǎn)工藝，切片后的工藝為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝。以硅片廠(chǎng)為例，介紹了空調凈化系統和自動(dòng)控制系統的設計方案。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461591.2 各生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求

硅片廠(chǎng)生產(chǎn)4~6寸光伏新能源硅晶片，產(chǎn)量480萬(wàn)片/年。本公司光伏新能源硅晶片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461592.空調凈化系統

空調凈化的設計與工藝布局和生產(chǎn)工藝緊密結合。不同類(lèi)型和用途的工廠(chǎng)空調凈化系統各有特點(diǎn)。以下是光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝的空調凈化系統方案。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461592.1 空調系統

1 切片室、倒角室、研磨室只有溫度控制要求，有風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(PAC)為了保證房間的溫度要求，室內機就近放置在車(chē)間內，連接風(fēng)管，采用雙層百葉風(fēng)口側送風(fēng)方式；室外機放在屋頂上。切割室排氣量大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵屋頂空調S1-1和S1-2補充。車(chē)間有防塵要求，中效空氣過(guò)濾器設置在風(fēng)冷熱泵分體柜式空調回風(fēng)口(大氣塵計數效率:≥60%，對于≥1μm顆粒)，同一屋頂空調需要兩級過(guò)濾器。

原理圖見(jiàn)圖：




2 爐室、BSD室內只有溫度控制要求，有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(PAL)為了保證房間的溫度要求，室內機就近放置在車(chē)間內，連接風(fēng)管，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式；室外機放置在屋頂上。新鮮空氣由相鄰的潔凈室正壓。車(chē)間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調出風(fēng)口設置中效過(guò)濾器（大氣塵計數效率：≥60%，對于≥1μm粒子)。

3 磨片檢查室對溫濕度控制有要求，配有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(PAL)為保證室內溫度要求，室內機就近放置在車(chē)間內，連接風(fēng)管，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式；室外機放置在屋頂上。新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機組(MAU-1、2）處理后，將送風(fēng)管送至室內，相對濕度由新風(fēng)機組保證。新風(fēng)機組與凈化系統共用。車(chē)間有防塵要求。風(fēng)冷電熱分體柜式空調回風(fēng)口設有中效過(guò)濾器（大氣粉塵計數效率：≥60%，對于≥1μm顆粒)，新風(fēng)機組內設置粗、中效過(guò)濾器。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461592.2 凈化系統

新風(fēng)空調機組用于光伏新能源凈化工程系統(MAU)循環(huán)空調機組(AHU)的冷媒采用6-11℃冷凍水用0加熱.2MPa蒸汽，加濕0.1MPa清潔蒸汽加濕，清潔蒸汽由純水通過(guò)清潔蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

1 CP室內凈化等級為7級，通風(fēng)次數為30次/小時(shí)，CP室內工藝設備酸量大，采用全新風(fēng)空調機組(MAU-3) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調方式。氣流流程為：新風(fēng)入口-粗過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效過(guò)濾器送風(fēng)-清潔區。

2 ML室內凈化水平為7級，通風(fēng)次數為30次/小時(shí)，采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEPABOX)空調方式。新風(fēng)與其他系統共用MAU-1、2新風(fēng)組。

3 CP/CVD室、LP/CVD潔凈包裝室凈化水平為6 級，換氣次數取為50次/小時(shí)，采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調方式。新風(fēng)與其他系統共用MAU-1、2新風(fēng)組。

4 7級、6 一級無(wú)塵室采用的氣流形式是頂部高效過(guò)濾器出風(fēng)口，房間側下百葉窗出風(fēng)口回風(fēng)。氣流過(guò)程為：新回風(fēng)混合！中效空氣過(guò)濾器-表面冷卻器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效空氣過(guò)濾器出風(fēng)口-潔凈區-房間側下百葉窗出風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。

5 質(zhì)量檢驗室的凈化水平為7 采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 風(fēng)機過(guò)濾單元(FFU))空調方式。頂部采用氣流形式FFU送風(fēng)，房間側下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿(mǎn)布率為33%，洗凈室、質(zhì)量檢驗室對NH4 、SQx循環(huán)機組需要濃度(AHU)增加化學(xué)過(guò)濾器。5級凈化室的氣流過(guò)程為：新回風(fēng)混合化學(xué)過(guò)濾器(NH4 )-化學(xué)過(guò)濾器(SQx)-中效過(guò)濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機過(guò)濾單元(FFU)-潔凈區-房間側下百葉窗回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)與其他系統共用MAU-1、2新風(fēng)組。

6 除CP室外潔凈室所需新風(fēng)采用2臺新風(fēng)機組(MAU-1.2)集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機組(AHU)。氣流流程為：新風(fēng)入口-粗過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-循環(huán)空調機組(AHU)。

7 CP室、ML房間和洗凈室的酸度相對較高，CP室、ML室內高效過(guò)濾器出風(fēng)口的擴散板采用不銹鋼板制成，室內清洗FFU網(wǎng)板由不銹鋼板制成。

8 需要注意的是，質(zhì)量檢驗室根據工藝要求采用黑色墻板、黑色頂板，相應采用黑色回風(fēng)口，FFU網(wǎng)板需要黑色網(wǎng)板。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461593、凈化系統的空調自動(dòng)控制

新風(fēng)機組(MAU-1.2)變頻器由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器控制。接入每個(gè)風(fēng)量和正壓控制循環(huán)機組(AHU)電動(dòng)調節閥設置在新風(fēng)管上，電動(dòng)調節閥的開(kāi)度由每個(gè)潔凈室的正壓值調節，使潔凈室的正壓值不隨生產(chǎn)設備的排氣量而變化。電動(dòng)調節閥的開(kāi)度變化導致總送風(fēng)管上的靜壓變化，并根據其設定值進(jìn)行調節AHU-1、2風(fēng)扇頻率，以達到控制的目的。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461593.1 凈化車(chē)間/無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制

無(wú)塵車(chē)間的濕度由新風(fēng)機組凈化生產(chǎn)MAU-1.2確?？刂菩嘛L(fēng)機組的送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，據送風(fēng)狀態(tài)設定值調整干蒸汽加濕器電動(dòng)執行機構和表面冷卻器和加熱器回水管上電動(dòng)二通閥的開(kāi)度。露點(diǎn)溫度DPT檢查室內濕度敏感元件HE連續固定。無(wú)塵車(chē)間的凈化生產(chǎn)溫度由循環(huán)機組決定AHU表冷器回水管上的電動(dòng)二通閥開(kāi)度應根據室內溫度進(jìn)行調整。

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：133053461593.2 冷卻系統控制

冷凍水系統采用一級泵，通過(guò)負載控制確定冷卻機組及相應水泵和冷卻塔的開(kāi)啟臺數。供水和回水壓差根據設定供水和回水壓差自動(dòng)控制，回水主管之間的壓差流量旁路閥。


新能源清潔車(chē)間

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：13305346159二、過(guò)濾效率：

大氣塵計數效率：≥60%，對于≥1μm粒子)

亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：13305346159三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

目前，微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術(shù)已進(jìn)入0.18微米以下的時(shí)代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數的要求。


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亞太凈化，專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話(huà)：13305346159四、應用場(chǎng)所：

食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、物理化學(xué)實(shí)驗室、血站、細菌學(xué)、生物學(xué)、清潔實(shí)驗室、物理工程（基因重組、疫苗制備）等行業(yè)。

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