亞太凈化--合肥光伏新能源凈化車(chē)間凈化工程-合肥新能源凈化工程公司分享
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新能源清潔車(chē)間
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌
凈化工程,電話(huà):13305346159一、詳細介紹
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌
凈化工程,電話(huà):133053461591.光伏新能源硅晶片簡(jiǎn)介
光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一個(gè)像鏡子一樣明亮的圓片,是生產(chǎn)半導體集成電路芯片的原材料。目前,微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,集成電路技術(shù)已進(jìn)入0.18微米以下的時(shí)代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展,大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數的要求。因此,光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂(lè )觀(guān)。
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凈化工程,電話(huà):133053461591.1 光伏新能源硅晶片的生產(chǎn)工藝
從大的方面來(lái)講,光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分,細分為以下幾道主要工序:
單晶棒生長(cháng)-單晶棒切割檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢測-蝕刻(化學(xué)蝕刻)LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋-洗滌-質(zhì)量檢驗-清潔包裝 從單晶棒生長(cháng)到外徑磨削到硅單晶棒生產(chǎn)工藝,切片后的工藝為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝。以硅片廠(chǎng)為例,介紹了空調凈化系統和自動(dòng)控制系統的設計方案。
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):133053461591.2 各生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求
硅片廠(chǎng)生產(chǎn)4~6寸光伏新能源硅晶片,產(chǎn)量480萬(wàn)片/年。本公司光伏新能源硅晶片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):133053461592.空調凈化系統
空調凈化的設計與工藝布局和生產(chǎn)工藝緊密結合。不同類(lèi)型和用途的工廠(chǎng)空調凈化系統各有特點(diǎn)。以下是光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝的空調凈化系統方案。
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):133053461592.1 空調系統
1 切片室、倒角室、研磨室只有溫度控制要求,有風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(PAC)為了保證房間的溫度要求,室內機就近放置在車(chē)間內,連接風(fēng)管,采用雙層百葉風(fēng)口側送風(fēng)方式;室外機放在屋頂上。切割室排氣量大,新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵屋頂空調S1-1和S1-2補充。車(chē)間有防塵要求,中效空氣過(guò)濾器設置在風(fēng)冷熱泵分體柜式空調回風(fēng)口(大氣塵計數效率:≥60%,對于≥1μm顆粒),同一屋頂空調需要兩級過(guò)濾器。
原理圖見(jiàn)圖:
2 爐室、BSD室內只有溫度控制要求,有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(PAL)為了保證房間的溫度要求,室內機就近放置在車(chē)間內,連接風(fēng)管,采用方形散流器頂部送風(fēng)方式;室外機放置在屋頂上。新鮮空氣由相鄰的潔凈室正壓。車(chē)間有防塵要求,風(fēng)冷電熱分體柜式空調出風(fēng)口設置中效過(guò)濾器(大氣塵計數效率:≥60%,對于≥1μm粒子)。
3 磨片檢查室對溫濕度控制有要求,配有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(PAL)為保證室內溫度要求,室內機就近放置在車(chē)間內,連接風(fēng)管,采用方形散流器頂部送風(fēng)方式;室外機放置在屋頂上。新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機組(MAU-1、2)處理后,將送風(fēng)管送至室內,相對濕度由新風(fēng)機組保證。新風(fēng)機組與凈化系統共用。車(chē)間有防塵要求。風(fēng)冷電熱分體柜式空調回風(fēng)口設有中效過(guò)濾器(大氣粉塵計數效率:≥60%,對于≥1μm顆粒),新風(fēng)機組內設置粗、中效過(guò)濾器。
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):133053461592.2 凈化系統
新風(fēng)空調機組用于光伏新能源凈化工程系統(MAU)循環(huán)空調機組(AHU)的冷媒采用6-11℃冷凍水用0加熱.2MPa蒸汽,加濕0.1MPa清潔蒸汽加濕,清潔蒸汽由純水通過(guò)清潔蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。
1 CP室內凈化等級為7級,通風(fēng)次數為30次/小時(shí),CP室內工藝設備酸量大,采用全新風(fēng)空調機組(MAU-3) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調方式。氣流流程為:新風(fēng)入口-粗過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效過(guò)濾器送風(fēng)-清潔區。
2 ML室內凈化水平為7級,通風(fēng)次數為30次/小時(shí),采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEPABOX)空調方式。新風(fēng)與其他系統共用MAU-1、2新風(fēng)組。
3 CP/CVD室、LP/CVD潔凈包裝室凈化水平為6 級,換氣次數取為50次/小時(shí),采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調方式。新風(fēng)與其他系統共用MAU-1、2新風(fēng)組。
4 7級、6 一級無(wú)塵室采用的氣流形式是頂部高效過(guò)濾器出風(fēng)口,房間側下百葉窗出風(fēng)口回風(fēng)。氣流過(guò)程為:新回風(fēng)混合!中效空氣過(guò)濾器-表面冷卻器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效空氣過(guò)濾器出風(fēng)口-潔凈區-房間側下百葉窗出風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。
5 質(zhì)量檢驗室的凈化水平為7 采用新風(fēng)機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 風(fēng)機過(guò)濾單元(FFU))空調方式。頂部采用氣流形式FFU送風(fēng),房間側下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿(mǎn)布率為33%,洗凈室、質(zhì)量檢驗室對NH4 、SQx循環(huán)機組需要濃度(AHU)增加化學(xué)過(guò)濾器。5級凈化室的氣流過(guò)程為:新回風(fēng)混合化學(xué)過(guò)濾器(NH4 )-化學(xué)過(guò)濾器(SQx)-中效過(guò)濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機過(guò)濾單元(FFU)-潔凈區-房間側下百葉窗回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)與其他系統共用MAU-1、2新風(fēng)組。
6 除CP室外潔凈室所需新風(fēng)采用2臺新風(fēng)機組(MAU-1.2)集中處理,新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機組(AHU)。氣流流程為:新風(fēng)入口-粗過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-循環(huán)空調機組(AHU)。
7 CP室、ML房間和洗凈室的酸度相對較高,CP室、ML室內高效過(guò)濾器出風(fēng)口的擴散板采用不銹鋼板制成,室內清洗FFU網(wǎng)板由不銹鋼板制成。
8 需要注意的是,質(zhì)量檢驗室根據工藝要求采用黑色墻板、黑色頂板,相應采用黑色回風(fēng)口,FFU網(wǎng)板需要黑色網(wǎng)板。
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):133053461593、凈化系統的空調自動(dòng)控制
新風(fēng)機組(MAU-1.2)變頻器由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器控制。接入每個(gè)風(fēng)量和正壓控制循環(huán)機組(AHU)電動(dòng)調節閥設置在新風(fēng)管上,電動(dòng)調節閥的開(kāi)度由每個(gè)潔凈室的正壓值調節,使潔凈室的正壓值不隨生產(chǎn)設備的排氣量而變化。電動(dòng)調節閥的開(kāi)度變化導致總送風(fēng)管上的靜壓變化,并根據其設定值進(jìn)行調節AHU-1、2風(fēng)扇頻率,以達到控制的目的。
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):133053461593.1
凈化車(chē)間/無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制
無(wú)塵車(chē)間的濕度由新風(fēng)機組凈化生產(chǎn)MAU-1.2確??刂菩嘛L(fēng)機組的送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn),據送風(fēng)狀態(tài)設定值調整干蒸汽加濕器電動(dòng)執行機構和表面冷卻器和加熱器回水管上電動(dòng)二通閥的開(kāi)度。露點(diǎn)溫度DPT檢查室內濕度敏感元件HE連續固定。無(wú)塵車(chē)間的凈化生產(chǎn)溫度由循環(huán)機組決定AHU表冷器回水管上的電動(dòng)二通閥開(kāi)度應根據室內溫度進(jìn)行調整。
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):133053461593.2 冷卻系統控制
冷凍水系統采用一級泵,通過(guò)負載控制確定冷卻機組及相應水泵和冷卻塔的開(kāi)啟臺數。供水和回水壓差根據設定供水和回水壓差自動(dòng)控制,回水主管之間的壓差流量旁路閥。
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亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):13305346159二、過(guò)濾效率:
大氣塵計數效率:≥60%,對于≥1μm粒子)
亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):13305346159三、產(chǎn)品特點(diǎn):
目前,微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,集成電路技術(shù)已進(jìn)入0.18微米以下的時(shí)代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展,大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數的要求。
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亞太凈化,專(zhuān)業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程,電話(huà):13305346159四、應用場(chǎng)所:
食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、物理化學(xué)實(shí)驗室、血站、細菌學(xué)、生物學(xué)、清潔實(shí)驗室、物理工程(基因重組、疫苗制備)等行業(yè)。
安徽空氣凈化工程有限公司是一家專(zhuān)注于無(wú)塵車(chē)間的公司GMP車(chē)間、無(wú)菌車(chē)間、潔凈實(shí)驗室、醫療手術(shù)室等凈化工程潔凈室系統的研發(fā)、設計、施工、升級、售后解決方案服務(wù)提供商。以安徽為基礎,服務(wù)全國,工程質(zhì)量要求高,為客戶(hù)提供高質(zhì)量的客戶(hù)服務(wù),改善潔凈室環(huán)境,創(chuàng )造國內專(zhuān)業(yè)高端安全舒適的實(shí)驗室手術(shù)室環(huán)境,優(yōu)質(zhì)品牌打造優(yōu)質(zhì)工程,決心成為中國凈化工程行業(yè)的優(yōu)質(zhì)品牌。
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