塵埃粒子最高允許數（每立方米）：大或等于0.5微米的粒子數不能超出3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數不能超出20000個(gè)；
微生物最高允許數（每立方米）：浮游菌數不能超出500個(gè)；菌數不能超出10個(gè)每培養皿。

壓差：相同潔凈度等級的潔凈車(chē)間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈車(chē)間之間壓差要≥5Pa，潔凈車(chē)間與非潔凈車(chē)間之間要≥10Pa。

10萬(wàn)級凈化車(chē)間工作環(huán)境規定：
10萬(wàn)級無(wú)塵室對溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著(zhù)潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動(dòng)±2℃。秋冬季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在50-70%。
配電：潔凈室（區）的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過(guò)道等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制：
動(dòng)態(tài)檢測時(shí)，萬(wàn)級無(wú)塵室內的噪音級不得超出70分貝A。
靜態(tài)檢測時(shí)，萬(wàn)級亂流無(wú)塵室的噪音級不能超出60分貝A。
氣流組織
10萬(wàn)級無(wú)塵室主要采用的送風(fēng)方式：
1.局部孔板頂棚送風(fēng)；
2.帶擴散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng)；
3.上側墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。
10萬(wàn)級無(wú)塵室主要采用的回風(fēng)方式：
1.單側墻下部布置回風(fēng)口；
2.當采用過(guò)道回風(fēng)時(shí)，在過(guò)道內均勻布置回風(fēng)口或在過(guò)道端部集中設置回風(fēng)口。
送風(fēng)口風(fēng)速米/秒：
1.孔板孔口3~5；
2.側送風(fēng)口：
（1）貼附射流2~5；
（2）非貼附射流同側墻下部回風(fēng)1.5~2.5，對側墻下部回風(fēng)1.0~1.5。
回風(fēng)口風(fēng)速（米/秒）：
1.無(wú)塵室回風(fēng)口不超2；
2.過(guò)道內回風(fēng)口不超4。

10萬(wàn)級室內空氣參數需求：

1.新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內，人員比較多，能夠依據以下數值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內排風(fēng)和堅持室內正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3 /h。

2.溫濕度需求：溫度通常為24+2 度 ，相對濕度為55+5%

3.送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)意無(wú)塵車(chē)間內的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級，送風(fēng)量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級，送風(fēng)量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數，是≥15次/h)。