無(wú)塵凈化車(chē)間地面要達到的標準:
1、凈化車(chē)間材料是凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強、保溫性能好、易施工。
2、凈化車(chē)間地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀(guān)清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
3、室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級的無(wú)塵室,主要是依靠單位時(shí)間內所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現。目前有十萬(wàn)級和三十萬(wàn)級兩種標準。
4、凈化室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為「潔凈室」。